发明名称 |
自钝化机械稳定的气密性薄膜 |
摘要 |
气密性薄膜,其包括第一无机层和与第一无机层邻接的第二无机层,其中该第二无机层作为第一无机层与氧的反应产物形成,其摩尔体积比第一无机层的摩尔体积大大约‑1%至15%。该第二无机层的平衡厚度至少是第一无机层的刚沉积厚度的10%但小于该厚度。 |
申请公布号 |
CN103025911B |
申请公布日期 |
2016.07.13 |
申请号 |
CN201180036263.2 |
申请日期 |
2011.07.13 |
申请人 |
康宁股份有限公司 |
发明人 |
C·P·安;M·A·凯斯达 |
分类号 |
C23C14/08(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;C03C3/247(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/08(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
沙永生 |
主权项 |
一种气密性薄膜,其包括:在基材上形成的具有初始厚度的第一无机层;和与第一无机层邻接的第二无机层;其中第一无机层和第二无机层具有相同的元素组成;第二无机层的摩尔体积比第一无机层的摩尔体积大‑1%至15%;和第二无机层的平衡厚度是第一无机层的初始厚度的至少10%但小于该初始厚度;第一无机层和第二无机层的材料组合选自(i)SnO和SnO<sub>2</sub>,(i i)SiO和β‑石英型SiO<sub>2</sub>和(i i i)CuO和副黑铜矿Cu<sup>+</sup><sub>2</sub>Cu<sup>2+</sup><sub>2</sub>O<sub>3</sub>。 |
地址 |
美国纽约州 |