一种砷化镓太阳电池钝化边缘的方法

摘要

本发明涉及一种砷化镓太阳电池钝化边缘的方法。本发明属于太阳电池技术领域。一种砷化镓太阳电池钝化边缘的方法，包括工艺步骤：(1)光刻上电极图形：采用自动涂胶机在外延片进行光面涂光刻胶，然后采用光刻机进行曝光，显影，冲洗甩干或氮气吹干；(2)蒸镀上电极：蒸镀Au、Ge、Ni、Au；然后放入丙酮中浸泡，去胶，冲洗，甩干；(3)套刻隔离槽：光面涂光刻胶，对涂胶面进行曝光，再放入显影液中显影，冲洗甩干或氮气吹干；(4)获得钝化边缘：腐蚀隔离槽：外延片浸入腐蚀液中腐蚀，冲洗，甩干；机械切割隔离槽：外延片放置在自动划片机的吸盘上，进行划片，得到隔离槽。本发明具有工艺简单，易于操作，安全稳定，有效提高电极的可焊性和牢固度等优点。

主权项

一种砷化镓太阳电池钝化边缘的方法，其特征是：砷化镓太阳电池获提钝化边缘包括以下工艺步骤：(1)光刻上电极图形采用自动涂胶机在外延片进行光面涂光刻胶，然后采用光刻机对涂胶面进行曝光，曝光时间为8s‑10s，再将光刻好的外延片放入显影液中显影60s‑90s，待显影完全后用清洗机冲洗6‑8次，最后用甩干机甩干或氮气吹干；(2)蒸镀上电极将外延片光刻面朝下即朝向蒸发源装入镀膜机中，蒸镀顺序和各层金属厚度为Au、50nm；Ge、100nm；Ni、2μm；Au、50nm；抽真空运行程序；然后将蒸镀好上电极的外延片放入丙酮中浸泡，取出后采用自动去胶机去胶，光刻胶去除干净后，采用自动清洗机冲洗6‑8次，再用甩干机甩干，完成去掉光刻胶的过程；(3)套刻隔离槽采用自动涂胶机在外延片进行光面涂光刻胶，自动涂胶机热板温度设置范围为70℃‑80℃，然后采用光刻机对准套刻标记，对涂胶面进行曝光，曝光时间为8s‑10s，再将光刻好的外延片放入显影液中显影60s‑90s，待显影完全后用清洗机冲洗6‑8次；最后用甩干机甩干或氮气吹干；(4)获得钝化边缘腐蚀隔离槽：配置腐蚀液，将光刻完隔离槽的外延片浸入腐蚀液中，不断上下抖动，腐蚀时间为0.5‑1.5min；采用自动清洗机冲洗8‑10次，然后甩干；机械切割隔离槽：将光刻好隔离槽的外延片放置在自动划片机的吸盘上，选用宽划片刀进行划片，划片刀速为10mm/s，划片深度为20μm；得到隔离槽。至此完成上电极体系为Au‑Ge‑Ni‑Au的砷化镓太阳电池由腐蚀隔离槽或机械切割隔离槽获得钝化边缘的过程。