リソグラフィ装置およびデバイス製造方法,申请号JP20150013672-传众专利搜索

发明名称	リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
摘要	A porous member is used in a liquid removal system of an immersion lithographic projection apparatus to smooth uneven flows. A pressure differential across the porous member may be maintained at below the bubble point of the porous member so that a single-phase liquid flow is obtained. Alternatively, the porous member may be used to reduce unevenness in a two-phase flow.
申请公布号	JP5952926(B2)	申请公布日期	2016.07.13
申请号	JP20150013672	申请日期	2015.01.27
申请人	エーエスエムエルネザーランズビー．ブイ．;エーエスエムエルホールディングエヌ．ブイ．	发明人	ニコラスルドルフケンパー;ヘンリクスヘルマンマリーコックス;シュールトニコラスラムベルテュスドンデルス;ロエロフフレデリックデグラーフ;クリスティアンアレクサンダーホーゲンダム;ニコラステンケイト;ジェローンヨハネスソフィアマリアメルテンス;フリッツファンデルモイレン;フランシスクスヨハネスヘルマンマリアテュニセン;ヤン − ジェラルドコーネリスファンデルトーン;マルティヌスコーネリスマリアフェルハーゲン;シュテファンフィリップクリスティアンベルフロイド;ヨハネスペトルスマリアスモイレルズ;ヘルマンフォゲル
分类号	G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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