| 发明名称 | 伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统涉及半导体晶圆检测领域。其目的是为了提供一种兼容性和适应性强、节省空间的伸缩型晶圆扫描装置及一种晶圆扫描系统。本实用新型伸缩型晶圆扫描装置包括底座，底座上安装有直线驱动机构，直线驱动机构的输出端安装有连接板，连接板上固定有探头安装板，探头安装板上左右对称加工有若干个安装位，探头安装板上安装有两个光纤探头，两个光纤探头对称安装在探头安装板上左右相对位置的安装位中。晶圆扫描系统包括伸缩型晶圆扫描装置，伸缩型晶圆扫描装置的后端安装有末端执行器，伸缩型晶圆扫描装置下方固定在机械手上。 | ||
| 申请公布号 | CN205376475U | 申请公布日期 | 2016.07.06 |
| 申请号 | CN201620115640.1 | 申请日期 | 2016.02.04 |
| 申请人 | 北京锐洁机器人科技有限公司 | 发明人 | 孙金召;周卫国;刘冬梅 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11487 | 代理人 | 刘葛;郭鸿雁 |
| 主权项 | 一种伸缩型晶圆扫描装置，其特征在于：包括底座，底座上安装有直线驱动机构，直线驱动机构的输出端安装有连接板，连接板上固定有探头安装板，探头安装板上左右对称加工有若干个安装位，探头安装板上安装有两个光纤探头，两个光纤探头对称安装在探头安装板上左右相对位置的安装位中。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十四街99号33幢C栋603室 | ||