发明名称 |
用于线锯的线引导件的夹具组件 |
摘要 |
本发明涉及用于线锯的线引导件的夹具组件。公开了一种夹具组件,其用于连接到用于切割晶片的线锯的圆柱形线引导件。公开了轴侧连接器,其适合于连接到线锯的轴,该轴具有旋转轴线。轴侧连接器包括外表面,其与轴线垂直并且适合于抵靠线引导件的互补连接器的互补外表面。锥表面在外表面与轴线之间,锥表面被绕轴线对称地布置,并且适合于抵靠线引导件的互补表面。 |
申请公布号 |
CN103056977B |
申请公布日期 |
2016.07.06 |
申请号 |
CN201210415368.5 |
申请日期 |
2012.10.22 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
安德烈亚斯·施密特;纪尧姆·麦卡;亚历山大·米塔兹 |
分类号 |
B28D7/04(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I |
主分类号 |
B28D7/04(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
张欣 |
主权项 |
一种夹具组件,其用于连接到用于切割晶片的线锯的圆柱形线引导件,所述夹具组件包括:轴侧连接器,其适合于连接到线锯的轴,所述轴具有旋转轴线,其特征在于,所述轴侧连接器包括:外表面,其与所述轴线垂直并且适合于抵靠所述线引导件的互补连接器的互补外表面,以及在所述外表面与所述轴线之间的锥表面,所述锥表面被绕所述轴线对称地布置并且适合于抵靠所述线引导件的互补表面。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |