一种氮化物宽势垒多量子阱红外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氮化物宽势垒多量子阱红外探测器及其制备方法。本发明宽势垒多量子阱红外探测器，多量子阱中的每个量子阱为宽势垒，以阻挡暗电流通过；并且多量子阱的总宽度能够让光电流通过；多量子阱的势垒或者势阱中为重掺杂。本发明通过增厚势垒宽度，有效地降低了探测器的暗电流并实现了光电流的探测，增大了光谱探测范围；采用III族氮化物材料，可以实现全红外光谱窗口的光子探测；利用插入层调节有源区的应力分布，消除样品开裂现象，尽可能地降低应力组态对光电探测的影响；采用宽势垒，子带的数量增多，增加了光电流的通路。本发明的探测器在2.5K～80K的温度范围内均可测到光电流信号，具有广阔的应用前景。

主权项

一种宽势垒多量子阱红外探测器，其特征在于，所述探测器包括：衬底(1)、底电极接触层(3)、多量子阱(5)、顶电极接触层(6)、顶电极(7)和底电极(8)以及钝化层(9)；其中，在所述衬底(1)上生长底电极接触层(3)；在所述底电极接触层(3)的一部分上依次为多量子阱(5)、顶电极接触层(6)和顶电极(7)；在所述底电极接触层(3)的一部分上为底电极(8)；在所述多量子阱(5)、顶电极接触层(6)和顶电极(7)的侧面覆盖有钝化层(9)，以及在所述底电极(8)的侧面覆盖有钝化层(9)；所述多量子阱(5)中的每个量子阱为宽势垒，以阻挡暗电流通过；并且所述多量子阱(5)的总宽度满足能够让光电流通过；所述多量子阱(5)的势垒或者势阱中为重掺杂。