一种加工晶体材料时对坩埚的均温装置及其方法

摘要

一种加工晶体材料时对坩埚的均温装置及其方法，涉及一种坩埚的加热方法，在坩埚(2)外部间隔设置有加热套，加热套的两侧分别连接有电极A(5)和电极B(7)，在所述坩埚(2)下部设置有支撑体(6)；在坩埚(2)与加热套之间设有均匀温度套，所述温度套通过动力机构旋转；本发明通过在坩埚与加热套之间设置旋转的均匀温度套，均匀温度套对坩埚加热，所述坩埚内的晶液便可保持一个平坦的固液交界面，拉制中克服了现有技术的晶震现象。

主权项

一种加工晶体材料时对坩埚的均温装置，包括坩埚(2)、加热套和支撑体(6)，其特征是：在坩埚(2)外部间隔设置有加热套，加热套的两侧分别连接有电极A(5)和电极B(7)，在所述坩埚(2)下部设置有支撑体(6)；在坩埚(2)与加热套之间设有均匀温度套，所述温度套通过动力机构旋转，所述动力机构第一结构，在均匀温度套的上端外部设置外翻边(17)，外翻边(17)的下部面上设置环形向上凹陷的圆弧槽，在外翻边(17)的下部设置托环(12)，所述托环(12)的外部由至少三根吊杆(10)连接，所述吊杆(10)上端与炉室上部内壁连接，所述托环(12)的内面与均匀温度套的外部面间隔设置，在托环(12)的上部面上设有对应外翻边(17)圆弧槽的向下凹陷圆弧槽，外翻边(17)圆弧槽与托环(12)的圆弧槽之间设有复数个滚动体(11)，在均匀温度套的下端面上设有齿面(15)，设置在炉室下部的支撑座(13)上部通过动力轴A(14)的一端固定齿轮A(16)，所述齿轮A(16)与均匀温度套下部面的齿面(15)齿合，所述动力轴A(14)的另一端外接动力。