用于纯化三氯氢硅的设备

摘要

本发明公开了一种用于纯化三氯氢硅的设备，该设备为第一精馏纯化装置，用于对三氯氢硅进行第一精馏纯化处理，以便获得经过纯化的三氯氢硅和第一精馏残液，其中所述第一精馏纯化装置包括串联的第一精馏塔、第二精馏塔和第三精馏塔，所述第一精馏塔的精馏温度为60～100摄氏度，压力为0.2MPa，回流比为10～50:1；所述第二精馏塔的精馏温度为100～140摄氏度，压力为0.5MPa，回流比为20～50:1；所述第三精馏塔的精馏温度为60～80摄氏度，压力为0.2MPa，回流比为20～50:1。利用该设备能够有效地纯化三氯氢硅，并且该设备涉及的工艺简单、安全、节能环保、成本低，且经过纯化的三氯氢硅纯度高，能够有效用于多晶硅的生产，而产生的废液能够继续利用。

主权项

一种用于纯化三氯氢硅的设备，其特征在于，包括：第一精馏纯化装置，用于对三氯氢硅进行第一精馏纯化处理，以便获得经过纯化的三氯氢硅和第一精馏残液；氯氢化合成反应装置，所述氯氢化合成反应装置与所述第一精馏纯化装置相连，用于使硅粉、氢气以及选自氯化氢与四氯化硅的至少一种发生氯氢化合成反应，以便获得所述氯氢化合成反应产物并供给至所述第一精馏纯化装置，且所述氯氢化合成反应装置中设置有镍基催化剂或铜基催化剂，以便在存在镍基催化剂或铜基催化剂时，使包含四氯化硅和氢气的气体混合物与硅粉接触，发生所述氯氢化合成反应；气液混合装置，所述气液混合装置用于将四氯化硅液体与氢气进行混合，得到气液混合物；热交换装置，所述热交换装置分别与所述气液混合装置和所述氯氢化合成反应装置相连，用于利用所述氯氢化合成反应产物对所述气液混合物进行热交换处理，以便获得经过预热的气液混合物和经过冷却的氯氢化合成反应产物；以及电阻加热器，所述电阻加热器分别与所述热交换装置和所述氯氢化合成反应装置相连，用于对经过预热的气液混合物进行加热，以便获得所述包含四氯化硅和氢气的气体混合物，并将所述包含四氯化硅和氢气的气体混合物供给至所述氯氢化合成反应装置其中，所述三氯氢硅以氯氢化合成反应产物的形式提供，所述第一精馏纯化装置包括串联的第一精馏塔、第二精馏塔和第三精馏塔，所述第一精馏塔的精馏温度为60～100摄氏度，压力为0.2MPa，回流比为10～50:1；所述第二精馏塔的精馏温度为100～140摄氏度，压力为0.5MPa，回流比为20～50:1；所述第三精馏塔的精馏温度为60～80摄氏度，压力为0.2MPa，回流比为20～50:1，其中，每个精馏塔均沿所述精馏塔的轴向方向自下而上分别设置进料口和出料口。