发明名称 |
被覆プローブおよびその製造方法 |
摘要 |
A coated probe is provided. The probe includes a probe body and a cladding layer. The probe body has a terminal. The cladding layer covers the surface of the terminal of the probe body, wherein the cladding layer includes a carbon nano-material layer, and the carbon nano-material layer includes a carbon nano-material. |
申请公布号 |
JP5947359(B2) |
申请公布日期 |
2016.07.06 |
申请号 |
JP20140236348 |
申请日期 |
2014.11.21 |
申请人 |
財團法人工業技術研究院INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE |
发明人 |
▲曽▼ 仕君;呉 仁傑;楊 秉興;蔡 麗端;呉 金▲寶▼ |
分类号 |
G01R1/067;C01B31/02;C23C14/06 |
主分类号 |
G01R1/067 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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