一种长程面形测量装置

摘要

本发明提供一种长程面形测量装置，用于对待测光学器件的表面进行面形检测，其包括移动光学头，该移动光学头包括面光源、单孔屏、分束镜、傅里叶变换透镜及面阵探测器，所述分束镜紧贴在所述单孔屏的上表面，所述单孔屏设置在所述面光源一侧并与所述面光源呈一倾斜角度，使面光源法线方向光束能通过单孔屏屏孔部分分束镜垂直反射到待测光学器件表面，所述傅里叶变换透镜水平设置在所述分束镜上方，所述面阵探测器水平设置在所述傅里叶变换透镜上方。本发明减少了测量不同角度时测量光束横移引入的系统误差，从而提高了测量精度。

主权项

一种长程面形测量装置，用于对待测光学器件的表面进行面形检测，其包括移动光学头，其特征在于，所述移动光学头包括面光源、单孔屏、分束镜、傅里叶变换透镜以及面阵探测器，所述分束镜紧贴在所述单孔屏的上表面，所述单孔屏设置在所述面光源一侧并与所述面光源呈一倾斜角度，该角度设置为使面光源法线方向光束能通过单孔屏屏孔部分分束镜垂直反射到待测光学器件表面，所述傅里叶变换透镜水平设置在所述分束镜上方，所述面阵探测器水平设置在所述傅里叶变换透镜上方。