晶圆传送系统

摘要

本发明提供了一种晶圆传送系统，采用发送机步数来控制负载传送部件的运动，当发送机所设定的步数到达时，采用探测器来探测负载传送部件是否到达起始位置或终点位置，从而可以准确判断出负载传送部件是否到位，以便进行后续操作，避免实际负载传送部件还没有到达设定位置，从而会造成晶圆的破裂，负载传送部件的变形，滑动阀门的卡死和工艺腔的污染。并且，当此情况发生时，就需要对整机进行清洗，更换负载传送部件和滑动阀门，这些部件的质量较重，更换比较耗时耗力，从而产生不必要的人力和生产成本浪费。

主权项

一种晶圆传送系统，具有工艺腔、加载互锁腔、控制器、发动机、位于加载互锁腔内的与发动机相连的传送带，传动带通过连接部件与负载传送部件相连接，负载传送部件上用于放置晶圆，负载传送部件具有开始传送的起始位置和完成传送的终点位置，发动机带动传送带运动，传送带带动负载传送部件运动，其特征在于，发动机具有计数器，记录发动机所运行的步数实时发送给控制器；探测器，设置在对应于起始位置或终点位置的上下方区域，探测器探测所述负载传送部件且得到导通信号或断开信号，并且将探测到的导通信号或断开信号发送给控制器；控制器与发动机相连接，控制发动机的开启，设定当负载传送部件到达起始位置或终点位置时发动机的目标步数，并且判断发动机的步数是否达到目标步数；控制器还与探测器相连接，接收探测器发送来的导通信号或断开信号，并且根据发送来的导通信号或断开信号判断负载传送部件是否到达起始位置或终点位置；当判断发动机的步数达到目标步数，且判断负载传送部件到达起始位置或终点位置时，控制器控制发动机停止工作。