一种镀膜膜厚监测装置

摘要

本案为一种镀膜膜厚监测装置，包括：挡板，设于挡板上的通孔，第一晶振，第二晶振，其中，第一晶振与第二晶振的监测位置相同，通孔处为监测位置，第一晶振在监测位置被镀膜时，遮挡第二晶振；当第一晶振被镀膜到一定的厚度后，第一晶振被移离而第二晶振被移到监测位置，对膜厚进行连续监测。本案提供的镀膜时膜厚监测装置可精确地监控厚膜层的厚度，从而保证准确完成复杂膜系的镀膜，提高了产品的良率；同时可以实现复杂膜系厚度的准确监测，而且成本低，方法简单。

主权项

一种镀膜膜厚监测装置，其特征在于，包括：挡板（1），设于挡板上的通孔（2），第一晶振（3），第二晶振（4），其中，第一晶振与第二晶振的监测位置相同，通孔处为监测位置，第一晶振在监测位置被镀膜时，遮挡第二晶振；当第一晶振被镀膜到一定的厚度后，第一晶振被移离而第二晶振被移到监测位置，对膜厚进行连续监测。