一种带自检测装置的压阻式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种带自检测装置的压阻式压力传感器，包括硅衬底、压敏电阻条、二氧化硅和氮化硅复合层、下电极、弹性敏感薄膜、真空密封腔、上电极、铟凸点、上玻璃基板、玻璃、金属引线、硼离子重掺杂扩散区；二氧化硅和氮化硅复合层生长在硅衬底的顶面；硅衬底中设有与压敏电阻条相连的硼离子重掺杂扩散区；下电极嵌至在二氧化硅和氮化硅复合层中；上玻璃基板固定连接在二氧化硅和氮化硅复合层的顶面；金属引线的一端伸入二氧化硅和氮化硅复合层的电极引出孔中，金属引线的另一端与压敏电阻条连接，构成惠斯通电桥。该压力传感器利用静电力模拟实际检测中的压力值，能够快速实现压力值的改变，在分析传感器性能时，具有更高的效率。

主权项

一种带自检测装置的压阻式压力传感器，其特征在于，该压力传感器包括硅衬底（1）、压敏电阻条（2）、二氧化硅和氮化硅复合层（3）、下电极（4）、弹性敏感薄膜（5）、真空密封腔（6）、上电极（7）、铟凸点（8）、上玻璃基板（9）、玻璃（10）、金属引线（11）、硼离子重掺杂扩散区（12）；硅衬底（1）的底部和玻璃（10）通过阳极键合，真空密封腔（6）位于硅衬底（1）中，真空密封腔（6）的底面为玻璃（10）的顶面；位于真空密封腔（6）正上方的硅衬底（1）为弹性敏感薄膜（5）；二氧化硅和氮化硅层复合层（3）生长在硅衬底（1）的顶面；压敏电阻条（2）位于硅衬底（1）中；硅衬底（1）中还设有与压敏电阻条（2）相连的硼离子重掺杂扩散区（12）；下电极（4）嵌至在二氧化硅和氮化硅复合层（3）中，且下电极（4）的底面与压敏电阻条（2）的顶面相连；下电极（4）通过压焊快引出；上玻璃基板（9）通过铟凸点（8）固定连接在二氧化硅和氮化硅复合层（3）的顶面；上电极（7）固定连接在上玻璃基板（9）的底面；二氧化硅和氮化硅复合层（3）中设有电极引出孔，金属引线（11）的一端伸入二氧化硅和氮化硅复合层（3）的电极引出孔中，与硼离子重掺杂扩散区（12）形成欧姆接触，金属引线（11）的另一端与该硼离子重掺杂扩散区（12）相连的压敏电阻条（2）连接，构成惠斯通电桥。