| 摘要 |
【課題】気密性に対する検出精度を高めることができるセンサユニット及びこれを用いた気密性検査装置を提供する。【解決手段】真空チャンバ１４内に検査対象のリチウムイオン電池１１が収容される。真空チャンバ１４の上部に初期排気配管４７と検査排気配管５１とが接続されている。初期排気配管４７を介して真空チャンバ１４内を初期排気し検査圧力Ｐｅまで下げる。この後、検査排気配管５１を介して検査排気を行う。検査排気配管５１の途中にセンサユニット１６が接続されている。検査排気配管５１を通る排気気体は、流入口からセンサユニット１６の内部に流入し、内部に設けたノズルによってガスセンサのセンサ面に向かって垂直に流れる。排気気体は、ガスセンサの内部を通って排出口からセンサユニット１６の外部に排出される。【選択図】図５ |
