| 发明名称 | 一种针测机晶舟承载台 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种针测机晶舟承载台，包括承载台本体和分别设置于承载台本体上的第一卡块、第二卡块、感应压柱、活动卡持件；所述第一卡块和第二卡块分别位于承载台本体的两端，所述活动卡持件有多个，分别水平设置在承载台本体上，所述活动卡持件分别位于第一卡块和第二卡块的两端，所述第二卡块上设有定位件，所述感应压柱有两个，分别设置于第一卡块和第二卡块的侧边，所述第一卡块和第二卡块依次竖直设置于承载台本体上。本发明结构简单使用方便，避免了操作人员晶舟放置位置不佳时导致的晶圆破片。 | ||
| 申请公布号 | CN105719995A | 申请公布日期 | 2016.06.29 |
| 申请号 | CN201610225523.5 | 申请日期 | 2016.04.11 |
| 申请人 | 安徽晶新微电子有限公司 | 发明人 | 沈顺金;王印玺;郑李 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人 | 王林 |
| 主权项 | 一种针测机晶舟承载台，其特征在于，包括承载台本体和分别设置于承载台本体上的第一卡块、第二卡块、感应压柱、活动卡持件；所述第一卡块和第二卡块分别位于承载台本体的两端，所述活动卡持件有多个，分别水平设置在承载台本体上，所述活动卡持件分别位于第一卡块和第二卡块的两端，所述第二卡块上设有定位件，所述感应压柱有两个，分别设置于第一卡块和第二卡块的侧边，所述第一卡块和第二卡块依次竖直设置于承载台本体上。 | ||
| 地址 | 234000 安徽省宿州市拱辰路8号科技大厦高新区管委会 | ||