发明名称 TMRデバイスおよびその製造方法
摘要 The pinning field in an MR device was significantly improved by using the Ru 4A peak together with steps to minimize interfacial roughness of the ruthenium layer as well as boron and manganese diffusion into the ruthenium layer during manufacturing. This made it possible to anneal at temperatures as high as 340° C. whereby a high MR ratio could be simultaneously achieved.
申请公布号 JP5940825(B2) 申请公布日期 2016.06.29
申请号 JP20120028363 申请日期 2012.02.13
申请人 ヘッドウェイテクノロジーズ インコーポレイテッド 发明人 張 坤亮;シェンギュアン ワン;▲赴▼ ▲丹▼;李 民;王 ▲恵▼娟
分类号 H01L43/12;H01L43/08 主分类号 H01L43/12
代理机构 代理人
主权项
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