| 发明名称 | 汽化系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种小型化的汽化系统，不必在汽化器的内部形成用于安装流量控制设备的流道，并取消了汽化系统中的配管。所述汽化系统包括：使液体材料汽化的汽化器(21)；控制向所述汽化器(21)的液体材料供给量的供给量控制设备(22)；以及歧管块(B)，其内部形成有流道，并且具有安装所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)的设备安装面(B1x)，所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)通过安装到所述设备安装面(B1x)上、借助所述流道R1～R4彼此连接。 | ||
| 申请公布号 | CN105714271A | 申请公布日期 | 2016.06.29 |
| 申请号 | CN201510794900.2 | 申请日期 | 2015.11.18 |
| 申请人 | 株式会社堀场STEC | 发明人 | 田口明広;滨田昌资;矢田秀贵 |
| 分类号 | C23C16/448(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/448(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 李雪春;王维玉 |
| 主权项 | 一种汽化系统，其特征在于包括：使液体材料汽化的汽化器；控制向所述汽化器的液体材料供给量的供给量控制设备；以及歧管块，其内部形成有流道，并且具有分别安装所述汽化器和所述供给量控制设备的设备安装面，所述汽化器和所述供给量控制设备通过安装在所述设备安装面上，借助所述流道彼此连接。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||