| 发明名称 | 用于形成细微图案的水溶性树脂组成物及利用其形成细微图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种在形成接触孔图案的光阻膜上进行涂抹及热处理以减少接触孔的大小的用于形成细微图案的水溶性树脂组成物，所述组成物包括：用下面的[化学式1]标示的水溶性聚合物及第1水溶性溶剂，[化学式1]<img file="DDA00002601546400011.GIF" wi="1305" he="377" />其中，上述[化学式1]中，R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>、R<sub>3</sub>、R<sub>4</sub>和R<sub>6</sub>各为包括独立的氢、醚基、羟基、酯基、羰基、乙酰基、环氧基、腈基、胺基、内酯基或醛基的C<sub>1-30</sub>的烷基或C<sub>3-30</sub>的环烷基，在这里R<sub>3</sub>≠R<sub>4</sub>，并且R<sub>5</sub>、R<sub>7</sub>、R<sub>8</sub>、R<sub>9</sub>、R<sub>10</sub>各为独立的氢或甲基，n是0至5的整数，a是0.05至0.5的实数，b、c、d和e分别是0.7以下的实数，a、b、c、d和e满足a+b+c+d+e＝1的条件。 | ||
| 申请公布号 | CN103176358B | 申请公布日期 | 2016.06.29 |
| 申请号 | CN201210548482.5 | 申请日期 | 2012.12.17 |
| 申请人 | 韩国锦湖石油化学株式会社 | 发明人 | 朴相昱;田钟振 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 臧建明 |
| 主权项 | 一种在形成接触孔图案的光阻膜上进行涂抹及热处理以减少接触孔的大小的用于形成细微图案的水溶性树脂组成物，所述组成物包括：用下面的化学式1标示的水溶性聚合物及第1水溶性溶剂，化学式1<img file="FDA0000736533530000011.GIF" wi="1337" he="422" />其中，上述化学式1中，R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>、R<sub>3</sub>、R<sub>4</sub>和R<sub>6</sub>各为包括独立的氢、醚基、羟基、酯基、羰基、乙酰基、环氧基、腈基、胺基、内酯基或醛基的C<sub>1‑30</sub>的烷基或C<sub>3‑30</sub>的环烷基，在这里R<sub>3</sub>≠R<sub>4</sub>，并且R<sub>5</sub>、R<sub>7</sub>、R<sub>8</sub>、R<sub>9</sub>、R<sub>10</sub>各为独立的氢或甲基，n是0至5的整数，a是0.05至0.5的实数，b、c、d和e分别是0.7以下的实数，a、b、c、d和e满足a+b+c+d+e＝1的条件。 | ||
| 地址 | 韩国首尔市 | ||