Mikromechanische Sensorvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren

摘要

Die Erfindung schafft eine mikromechanische Sensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Sensorvorrichtung ist ausgestattet mit einem ersten elektrisch isolierenden Glassubstrat (10) mit einer ersten Vorderseite (V1) und einer ersten Rückseite (R1), einem zweiten elektrisch isolierenden Glassubstrat (30) mit einer zweiten Vorderseite (V2) und einer zweiten Rückseite (R2) und einer auf der ersten Vorderseite (V1) des ersten Glassubstrats (10) gebildeten elektrisch leitfähigen mikromechanischen Funktionsschicht (20). In der mikromechanischen Funktionsschicht (20) ist eine bewegliche Sensorstruktur (SE) ausgebildet, und die zweite Vorderseite (V2) ist zum Verkappen der beweglichen Sensorstruktur (SE) auf die mikromechanische Funktionsschicht (20) gebondet.