Sensor zur Detektion elektrisch leitfähiger und/oder polarisierbarer Partikel, Sensorsystem, Verfahren zum Betreiben eines Sensors, Verfahren zur Herstellung eines derartigen Sensors und Verwendung eines derartigen Sensors

摘要

Die Erfindung betrifft einen Sensor (10) zur Detektion elektrisch leitfähiger und/oder polarisierbarer Partikel, insbesondere zur Detektion von Rußpartikel (30), umfassend ein Substrat (11) und mindestens zwei Elektrodenschichten (12; 13), wobei eine erste Elektrodenschicht (12) und mindestens eine, zwischen dem Substrat (11) und der ersten Elektrodenschicht (12) angeordnete, zweite Elektrodenschicht (13) angeordnet sind, wobei zwischen der ersten Elektrodenschicht (12) und der mindestens einen zweiten Elektrodenschicht (13) mindestens eine Isolationsschicht (14) ausgebildet ist und in der ersten Elektrodenschicht (12) und in der mindestens einen Isolationsschicht (14) jeweils mindestens eine Öffnung (15; 16) ausgebildet ist, wobei die Öffnung (15) der ersten Elektrodenschicht (12) und die Öffnung (16) der Isolationsschicht (14) zumindest abschnittsweise derart übereinander angeordnet sind, dass mindestens ein Durchgang (17, 17‘, 17‘‘) zur zweiten Elektrodenschicht (13) gebildet ist.