发明名称 BIAS-VARIANT PHOTOMULTIPLIER TUBE
摘要 바이어스 변형 광전자 증배관(PMT)은 동작시에 광자를 흡수하고 흡수된 광자에 응답하여 광전자를 방사하는 광음극을 포함한다. 바이어스 변형 PMT는 또한 상기 광음극에 의해 방사된 광전자를 수신하는 복수의 다이노드를 포함한다. 상기 복수의 다이노드는 제1 바이어스 차를 가진 제1쌍의 다이노드와 제2 바이어스 차를 가진 적어도 제2쌍의 다이노드를 포함한다. 제2 바이어스 차는 제1 바이어스 차보다 더 크다. 바이어스 변형 PMT는 상기 복수의 다이노드로부터 지향된 광전자를 수신하는 애노드를 또한 포함한다.
申请公布号 KR20160072237(A) 申请公布日期 2016.06.22
申请号 KR20167013122 申请日期 2014.10.20
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 MACKAY DEREK;DONDERS PAUL;CAO KAI;LIM JEONGSIK
分类号 H01J43/20;H01J40/12;H01J40/16;H01J43/24 主分类号 H01J43/20
代理机构 代理人
主权项
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