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Die vorliegende Erfindung betrifft unter anderem eine Vakuumspannvorrichtung zum Aufspannen von Werkstücken, insbesondere zum Aufspannen von flachen Substraten, mit einer Vakuumspannplatte (10), die über ihre Fläche verteilt eine Anzahl von Ansaugöffnungen (16) aufweist, die in einer Ansaugoberfläche (14) der Vakuumspannplatte (10) ausgebildet sind, oder die mit einer Anzahl von Ansaugnuten (15) in Verbindung stehen, die in einer Ansaugoberfläche (14) der Vakuumspannplatte (10) ausgebildet sind, wobei die Vakuumspannplatte (10) zwei oder mehr voneinander getrennte, einzeln schaltbare Vakuumzonen (11, 12) aufweist, wobei jede Vakuumzone (11, 12) entsprechende Ansaugöffnungen (16) und/oder Ansaugnuten (15) mit Ansaugöffnungen (16) aufweist. Um die Vakuumspannvorrichtung derart weiterzubilden, dass mit dieser gezielt große Haltekräfte erzeugt werden können, wobei gleichzeitig eine Beschädigung der aufzuspannenden Werkstücke vermieden wird, ist vorgesehen, dass die Vakuumspannvorrichtung zwei oder mehr voneinander unabhängige Vakuumkreise aufweist, dass jede Vakuumzone (11, 12) einem der Vakuumkreise zugeordnet ist oder Bestandteil eines der Vakuumkreise ist, und dass jeder Vakuumkreis zum Erzeugen eines eigenständigen Vakuums ausgebildet ist. |
