发明名称 |
靶材的脱焊方法 |
摘要 |
一种靶材的脱焊方法,包括:提供靶材,所述靶材包括靶坯和背板,所述靶坯内嵌焊接于所述背板中,内嵌焊接有所述靶坯的背板表面为背板正面,所述背板的另一面为背板背面;提供油压机,所述油压机包括油压机平台和油压机机头;将所述靶材悬空固定在油压机平台上,使靶坯朝向油压机平台且与油压机平台之间具有空隙;用油压机机头对背板背面施加压力至靶坯从背板中脱落。本发明靶材的脱焊方法无需车削,直接采用压力将靶坯从背板中取出,对靶坯损伤较小,并且脱焊时间较短,工艺简单。 |
申请公布号 |
CN105689832A |
申请公布日期 |
2016.06.22 |
申请号 |
CN201410713274.5 |
申请日期 |
2014.11.28 |
申请人 |
宁波江丰电子材料股份有限公司 |
发明人 |
姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;袁海军 |
分类号 |
B23K1/018(2006.01)I |
主分类号 |
B23K1/018(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
高静;骆苏华 |
主权项 |
一种靶材的脱焊方法,其特征在于,包括:提供靶材,所述靶材包括靶坯和背板,所述靶坯内嵌焊接于所述背板中,内嵌焊接有所述靶坯的背板表面为背板正面,所述背板的另一面为背板背面;提供油压机,所述油压机包括油压机平台和油压机机头;将所述靶材悬空固定在油压机平台上,使靶坯朝向油压机平台且与油压机平台之间具有空隙;用油压机机头对背板背面施加压力至靶坯从背板中脱落。 |
地址 |
315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号 |