发明名称 靶材的脱焊方法
摘要 一种靶材的脱焊方法,包括:提供靶材,所述靶材包括靶坯和背板,所述靶坯内嵌焊接于所述背板中,内嵌焊接有所述靶坯的背板表面为背板正面,所述背板的另一面为背板背面;提供油压机,所述油压机包括油压机平台和油压机机头;将所述靶材悬空固定在油压机平台上,使靶坯朝向油压机平台且与油压机平台之间具有空隙;用油压机机头对背板背面施加压力至靶坯从背板中脱落。本发明靶材的脱焊方法无需车削,直接采用压力将靶坯从背板中取出,对靶坯损伤较小,并且脱焊时间较短,工艺简单。
申请公布号 CN105689832A 申请公布日期 2016.06.22
申请号 CN201410713274.5 申请日期 2014.11.28
申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司 发明人 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;袁海军
分类号 B23K1/018(2006.01)I 主分类号 B23K1/018(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 高静;骆苏华
主权项 一种靶材的脱焊方法,其特征在于,包括:提供靶材,所述靶材包括靶坯和背板,所述靶坯内嵌焊接于所述背板中,内嵌焊接有所述靶坯的背板表面为背板正面,所述背板的另一面为背板背面;提供油压机,所述油压机包括油压机平台和油压机机头;将所述靶材悬空固定在油压机平台上,使靶坯朝向油压机平台且与油压机平台之间具有空隙;用油压机机头对背板背面施加压力至靶坯从背板中脱落。
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