抛光头调平装置及方法

摘要

本发明公开了一种抛光头调平装置及方法，包括花键轴、花键套、轴承套筒、轴承端盖、轴承预紧环、轴承、调节平板、基板和至少三个调平螺钉组；调节平板置于基板上表面；轴承端盖与轴承预紧环配合，对轴承的外圈进行预紧；轴承设于花键套与轴承套筒之间；花键轴装于花键套内；各调平螺钉组连接在调节平板上。本发明通过花键轴传递到抛光头，抛光头面较大，适用于较大尺寸的晶圆抛光。防松法兰用于消除调平螺母与调节平板之间的螺纹间隙，提高调平精度，防止再旋转紧固螺栓的过程中被摩擦力改变预先调好的位置。

主权项

抛光头调平装置，其特征在于，包括花键轴、花键套、轴承套筒、轴承端盖、轴承预紧环、轴承、调节平板、基板和至少三个调平螺钉组；所述调节平板置于所述基板上表面；所述轴承端盖与所述轴承预紧环配合，对所述轴承的外圈进行预紧；所述轴承设于所述花键套与所述轴承套筒之间；所述花键轴装于所述花键套内，所述花键轴的底端用于安装抛光头；各所述调平螺钉组连接在所述调节平板上。