纯乙硼烷中乙烷杂质的检测方法

摘要

本发明涉及气体中微量杂质的检测技术领域，具体公开了一种纯乙硼烷中乙烷杂质的检测方法：采用气相色谱法，检测器为氢焰离子化检测器(FID)，载气为高纯氮气；Porapak Q柱作为色谱柱，GDX-104柱作为吸附柱，控制吸附柱柱温-35℃～-25℃，色谱柱柱温70±2℃，载气流量为30±5ml/min，定量样品汽化后经载气携带沿气路先通过所述吸附柱，再通过所述色谱柱，进FID检测，得样品气色谱图；再采用外标法根据样品气色谱图对样品气中乙烷进行定性和定量分析。本发明方法能够对纯乙硼烷中的乙烷杂质进行定性和定量检测，检测方法简单、快速，能够满足企业对纯乙硼烷杂质的控制需求，适于推广使用。

主权项

纯乙硼烷中乙烷杂质的检测方法，其特征在于：采用气相色谱法，检测器为氢焰离子化检测器(FID)，载气为高纯氮气；色谱柱规格：长2m、内径3mm的Porapak Q柱；吸附柱规格：长2m、内径4mm的GDX‑104柱；控制吸附柱柱温‑35℃～‑25℃，色谱柱柱温70±2℃，载气流量为30±5ml/min，定量样品汽化后经载气携带沿气路先通过所述吸附柱，再通过所述色谱柱，进FID检测，得样品气色谱图；采用外标法根据样品气色谱图对样品气中乙烷进行定性和定量分析。