压力控制器及其开口度调节方法

摘要

本发明提供一种压力控制器及其开口度调节方法，属于真空设备气体压力控制技术领域，其可解决现有的APC调节真空腔室气体压力不够精确的问题。本发明的压力控制器连接在真空泵与真空腔室之间，且在所述压力控制器与真空泵连接的开口处设有摆动板，所述摆动板用于控制所述开口的开口度，其中，所述压力控制器包括光栅尺，所述光栅尺用于读取莫尔条纹图案以确定所述摆动板的位置。其开口度调节方法包括用光栅尺读取莫尔条纹图案以确定所述摆动板的位置，并根据所述摆动板的位置将摆动板调节到与真空腔室内所需气体压力对应的位置。本发明对真空腔室气体压力的调节更为精确。

主权项

一种压力控制器，其中，所述压力控制器连接在真空泵与真空腔室之间，且在所述压力控制器与真空泵连接的开口处设有摆动板，所述摆动板用于控制所述开口的开口度，其特征在于，还包括光栅尺，所述光栅尺用于读取莫尔条纹图案以确定所述摆动板的位置；所述光栅尺包括标尺光栅和光栅读数头，所述光栅读数头安装在所述摆动板上，用于根据与所述标尺光栅的位置读取莫尔条纹图案，以确定所述摆动板的位置；所述标尺光栅设置于所述真空腔室的壁面上，且与所述光栅读数头运动所经过的轨迹在投影方向上至少部分重合。