一种基于快速响应湿度变化的工业锅炉

摘要

本发明公开了一种基于快速响应湿度变化的工业锅炉，通过在工业锅炉的炉体外部安装湿敏传感器模块，使得该工业锅炉在使用过程中，能够检测产生热蒸汽中湿度的变化，进而可以预警该工业锅炉工作参数的正常；该湿敏传感器模块从传感器的敏感材料、制作条件、结构等多方面进行创造性的设计，使其响应速度快，灵敏度大大提高，测试重复性良好，产生了意想不到的技术效果，具有很大的市场应用前景。

主权项

一种基于快速响应湿度变化的工业锅炉，其特征在于，所述工业锅炉的炉体外部安装有湿敏传感器模块，该湿敏传感器模块包括从下到上依次布设的重掺杂硅片(1)、紧贴重掺杂硅片(1)的SiO₂层(2)、碳纳米管层(4)、位于SiO₂层(2)间的下电极(3)和位于碳纳米管层(4)上的上电极(5)，所述碳纳米管层(4)生长于SiO₂层(2)上；所述下电极(3)为金属薄膜，所述金属薄膜从内到外依次为具有黏附性的Cr层、导电导热的Cu层和作为电极层的Au层，所述Cr层、Cu层和Au层的厚度依次为40nm、280nm和300nm；所述碳纳米管层(4)采用催化剂和/或光刻法实现其定域生长，生长后的所述碳纳米管层(4)采用等离子体使其产生羟基修饰，碳纳米管层(4)在等离子体羟基修饰之前经过了加入微量钨粉的醋酸和双氧水混合溶液的处理；所述金属薄膜的表面紧贴有感测细菌生长的细菌酶膜层，该细菌酶膜层与金属薄膜一起形成感测水分的细菌湿敏感测器；所述下电极(3)和上电极(5)上连接有一个用于和客户端通信连接的微控处理器。