一种新型化学机械抛光装置

摘要

本实用新型公开了一种新型化学机械抛光装置，包括抛光头、研磨垫、转轴、传动轮，所述研磨垫紧贴换向轮布置并由所述传动轮传动，所述抛光头位于研磨垫上方，一侧与所述转轴连接，另一侧安装有研磨头，所述转轴上端与第一电动机输出轴连接，所述第一电动机固定在滑块装置上，所述滑块装置与丝杠之间靠螺旋副连接，所述丝杠的一侧终端与第二电动机输出轴连接，所述第二电动机下面安装有喷液臂，所述喷液臂与固定在地面上的底座连接，所述喷液臂的另一侧安装有喷液头，所述丝杠的两端连接有支撑座，所述支撑座与竖直气缸连接。有益效果在于：竖直气缸的连接可调节研磨头与研磨垫之间的压力，可适应不同的研磨要求。

主权项

一种新型化学机械抛光装置，包括抛光头、研磨垫、转轴、传动轮，所述研磨垫紧贴换向轮布置并由所述传动轮传动，所述抛光头位于研磨垫上方，一侧与所述转轴连接，另一侧安装有研磨头，所述转轴上端与第一电动机输出轴连接，所述第一电动机固定在滑块装置上，所述滑块装置与丝杠之间靠螺旋副连接，所述丝杠的一侧终端与第二电动机输出轴连接，所述第二电动机下面安装有喷液臂，所述喷液臂与固定在地面上的底座连接，所述喷液臂的另一侧安装有喷液头，所述丝杠的两端连接有支撑座，所述支撑座与竖直气缸连接。