大口径高平行度光学元件波前检测装置

摘要

一种大口径高平行度光学元件波前检测装置，该装置包括小口径短相干光源平面干涉仪主机、扩束系统、标准镜和计算机，本发明装置能对大口高平行度光学元件波前误差进行精确检测，有效地解决了一般商用大口径波长移相干涉仪在检测高平行度光学元件时候，由于后表面反射而产生的自干涉条纹造成波面无法解包计算的问题。

主权项

一种大口径高平行度光学元件波前检测装置，其特征在于该装置包括小口径短相干光源平面干涉仪主机(2)、扩束系统、标准镜和计算机(1)，所述的扩束系统包括小口径转折反射镜(3)、扩束次镜组(4)、大口径转折反射镜(5)和准直主镜(6)，所述的标准镜包括标准透射镜(7)和标准反射镜(9)，沿干涉仪主机(2)的光束输出方向依次是所述的小口径转折反射镜(3)、扩束次镜组(4)、大口径转折反射镜(5)、准直主镜(6)、标准透射镜(7)、待检光学元件(8)和标准反射镜(9)，所述的计算机(1)通过数据线与所述的干涉仪主机(2)相连，所述的计算机(1)采集所述的干涉条纹，采用现有方法对所述的干涉条纹进行移相和解包计算，得到待检光学元件(8)的波前信息。