发明名称 |
激光异步扫描热波成像无损检测系统与方法 |
摘要 |
本发明涉及一种激光异步扫描热波成像无损检测系统与方法,系统采用高功率激光束,经光束偏转装置对样品的表面进行快速扫描,实现脉冲热激励。激光束的帧扫描速度异步于热像仪的帧扫描速率,热像仪采集一系列热波图像,每帧图像中各像素的热波信号与热激励之间具有不同的延迟,经过延迟量修正和数值处理的热波图像,可以用于对样品的内部缺陷进行分析。 |
申请公布号 |
CN103411999B |
申请公布日期 |
2016.06.15 |
申请号 |
CN201310352096.3 |
申请日期 |
2013.08.13 |
申请人 |
南京诺威尔光电系统有限公司 |
发明人 |
陈力 |
分类号 |
G01N25/72(2006.01)I |
主分类号 |
G01N25/72(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种激光异步扫描热波成像无损检测系统,其特征在于,所述系统包括:激光器(21),所述激光器(21)用于在被测物体(28)表面激励热波;光束整形装置(26),所述光束整形装置(26)调整激光束(27)在被测物体(28)表面形成的激光焦斑(30)的形状;光束偏转装置(25),所述光束偏转装置(25)用于偏转激光束(27)对被测物体(28)表面进行扫描;热像仪(22),所述热像仪(22)包括红外阵列探测器(40),用于采集被测物体(28)表面的热波图像;数据处理单元(20),所述数据处理单元(20)用于对所述热像仪(22)采集的热波图像进行处理分析;扫描控制单元(24),所述扫描控制单元(24)控制所述光束偏转装置(25),使得所述激光焦斑(30)在所述红外阵列探测器(40)上的投影的扫描速率异步于所述红外阵列探测器(40)自身的信号扫描速率。 |
地址 |
210038 江苏省南京市南京经济技术开发区恒飞路8号501室 |