晶圆堆栈结构及方法

摘要

一种晶圆堆栈结构及方法，该晶圆堆栈结构包括：基板、设于该基板上且其表面具有凸部的坝块、以及设于该坝块上且具有凹处的晶圆。通过该坝块表面上的凸部嵌卡至该晶圆的凹处，能避免该晶圆的凹处与该坝块之间产生气室，所以在晶圆堆栈结构进行后续封装制程时，该晶圆不致因气室存在而与坝块分离。

主权项

一种晶圆堆栈结构，其特征在于，包括：基板，其具有平整表面；坝块，其设于该基板上，且该坝块包括：第一层，设于所述基板的平整表面，且所述第一层的材质与所述基板的材质相同；以及多个凸部，设于所述第一层上，且所述凸部之间具有暴露部分所述第一层的穿孔，所述多个凸部的材质与晶圆的材质相同；以及所述晶圆，其设于该坝块上，且具有相对应所述穿孔的凸处，其中各个所述凸处嵌固于所述穿孔并抵顶于所暴露的第一层。