形状测量装置

摘要

本发明提供一种使探针进行扫描来进行形状测量的形状测量装置，实现了降低振动的噪声。该形状测量装置具备第一(Y轴方向)移动体(19)、与第一移动体大致平行地移动的移动辅助体(24)和向与所述第一移动体大致成直角的方向移动的第二(X轴方向)移动体(3)，利用所述移动辅助体承受使第二移动体移动所产生的力，由于在XY轴方向上进行驱动，因此，在使设于第二移动体上的测量用探针(1)在XY轴方向上进行扫描时，第一移动体不会受到第一移动体的移动方向的大致直角方向的反作用，能抑制第一移动体的振动。

主权项

一种形状测量装置，其具备平台，所述形状测量装置的特征在于，还具备：第一移动体，其配置于所述平台上，具有沿所述平台的XY轴方向中的任一个的第一轴方向延伸且与所述平台相连结的第一固定部和相对于所述第一固定部沿所述第一轴方向进行前后移动的第一可动部；移动辅助体，其具有沿所述第一轴方向延伸且与所述平台连结的辅助体固定部和相对于所述辅助体固定部与所述第一可动部的移动方向大致平行地进行前后移动的辅助体可动部；以及第二移动体，其具有沿所述平台的所述XY轴方向中的与所述第一轴方向正交的第二轴方向延伸的第二固定部和相对于所述第二固定部在所述第二轴方向上进行左右移动的第二可动部，所述第二固定部的一端部能移动地支承于所述第一移动体，另一端部固定于所述移动辅助体的所述辅助体可动部，所述第一移动体具有包括所述第一固定部和所述第一可动部的第一轴方向驱动装置，并且所述第二移动体具有包括所述第二固定部和所述第二可动部的第二轴方向驱动装置，驱动所述第一轴方向驱动装置而使XY工作台与所述第一可动部一起相对于所述第一固定部在所述第一轴方向上移动，当驱动所述第二轴方向驱动装置而使所述XY工作台与所述第二可动部一起相对于所述第二固定部在所述第二轴方向上移动时，利用所述移动辅助体承受所述第二可动部移动时产生的力的反作用，利用所述XY工作台支承对测量物的表面进行测量的探针和所述测量物中的其中一方，将另一方支承于所述平台，驱动所述XY工作台而使所述探针相对于所述测量物的所述表面在XY轴方向上相对地进行扫描，根据由所述探针获得的信息测量所述测量物的形状。