| 发明名称 | 选择性腐蚀石英晶片的装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种选择性腐蚀石英晶片的装置，包括由耐腐蚀材料制成的上、下夹板，上夹板下端面与下夹板上端面上有相互配合的平面区域，下夹板上端面的平面区域开有数个与晶体方片形成配合的模腔，上、下夹板上分别开有与晶体方片上、下端待腐蚀区域相通的腐蚀孔，腐蚀孔的形状与晶体方片待腐蚀区域形状相同。本发明结构简单，装配方便，可以满足石英晶片深度腐蚀的要求，与曝光掩膜法相比，具有加工工序短、操作简单的优点，可以大幅度降低晶片加工成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102904540B | 申请公布日期 | 2016.06.08 |
| 申请号 | CN201210361063.0 | 申请日期 | 2012.09.25 |
| 申请人 | 铜陵晶越电子有限公司 | 发明人 | 唐劲;张帮岭 |
| 分类号 | H03H3/04(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I | 主分类号 | H03H3/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 合肥诚兴知识产权代理有限公司 34109 | 代理人 | 汤茂盛 |
| 主权项 | 选择性腐蚀石英晶片的装置，包括由耐腐蚀材料制成的上、下夹板(1、2)，其特征是：上夹板(1)下端面与下夹板(2)上端面上有相互配合的平面区域，下夹板(2)上端面的平面区域开有数个与晶体方片形成配合的模腔，上、下夹板(1、2)上分别开有与晶体方片上、下端待腐蚀区域相通的腐蚀孔(11、21)，腐蚀孔(11、21)的形状与晶体方片待腐蚀区域形状相同；上、下夹板(1、2)的边缘设有相互配合的凸起(12、22)或凹槽，用来形成防止腐蚀液由上、下夹板四周渗入中间平面区域的配合面；上、下夹板(1、2)的边缘对应位置开有定位孔(4)。 | ||
| 地址 | 244000 安徽省铜陵市经济技术开发区翠湖2路1258号 | ||