飞秒激光制备仿生超疏水微纳表面的方法及装置

摘要

本发明提供了一种飞秒激光制备仿生超疏水微纳表面的装置。该装置包括飞秒激光单元、光束控制单元、运动平台单元和自动化控制单元；飞秒激光单元用于发射飞秒激光；光束控制单元用于控制飞秒激光的功率、光束质量和曝光时间；运动单元用于控制被光刻表面在三维方向上的移动量；飞秒激光单元设置在光束控制单元的后方，光束控制单元设置在运动平台单元的上方，光束控制单元和运动平台单元分别与自动化控制单元相电连接。本发明还提供一种飞秒激光制备仿生超疏水微纳米表面的方法，其使用上述的装置。本发明利用飞秒激光烧蚀作用一次形成类似荷叶表面的微纳复合结构，不需要二次造型，工艺简单，微纳结构稳定，均匀性好，疏水功能强。

主权项

一种飞秒激光制备仿生超疏水微纳表面的装置，其特征在于：该装置包括飞秒激光单元、光束控制单元、运动平台单元、自动化控制单元和实时监测单元；所述飞秒激光单元用于发射飞秒激光；所述光束控制单元用于控制飞秒激光的功率、光束质量和曝光时间；所述运动平台单元用于控制被光刻表面在三维方向上的移动量；所述飞秒激光单元设置在所述光束控制单元的后方，所述光束控制单元设置在所述运动平台单元的上方，所述光束控制单元和所述运动平台单元分别与所述自动化控制单元相电连接；所述光束控制单元包括二分之一波片、偏振分光镜、快门、反射镜和非球透镜；所述二分之一波片设置在所述飞秒激光单元的前方，所述偏振分光镜设置在所述二分之一波片的前方，所述快门设置在所述偏振分光镜的前方，所述反射镜设置在所述快门的前方，所述非球透镜设置在所述反射镜的下方，所述快门与所述自动化控制单元相连接；所述实时监测单元用于监测飞秒激光对被处理材料表面的损伤情况，所述实时监测单元包括发光二极管、物镜和CCD，所述发光二极管用于发光，所述物镜设置在所述CCD的前方。