电子装置、物理量传感器、压力传感器、振子以及高度计

摘要

本发明提供具有优异的可靠性的电子装置以及物理量传感器，此外，还提供具备所涉及的电子装置的压力传感器、振子以及高度计。本发明的物理量传感器(1)具备：基板(2)；压敏电阻元件(5)，其被配置于基板(2)的一面侧；壁部，其在以在俯视观察基板(2)时包围压敏电阻元件(5)的方式而被配置于基板(2)的所述一面侧；顶部，其相对于壁部而被配置于与基板(2)相反的一侧，并与壁部一起构成空洞部(S)，顶部具有：被覆层(641)，其具有在厚度方向上贯穿的细孔(642)；密封层(66)，其被层压于被覆层(641)的与基板(2)相反的一侧并封堵细孔(642)，在俯视观察时，密封层(66)的与被覆层(641)接触的接触部(661)的外周缘(662)的至少一部分位于与空洞部(S)相比靠外侧的位置处。

主权项

一种电子装置，其特征在于，具备：基板；功能元件，其被配置于所述基板的一面侧；壁部，其以在俯视观察所述基板时包围所述功能元件的方式而被配置于所述基板的所述一面侧；顶部，其相对于所述壁部而被配置于与所述基板相反的一侧，并与所述壁部一起构成内部空间，所述顶部具有：第一层，其具有贯穿孔；第二层，其相对于所述第一层而被层压于与所述基板相反的一侧，并封堵所述贯穿孔的开口部，在俯视观察时，所述第二层的与所述第一层接触的接触部的外周缘的至少一部分位于与所述内部空间相比靠外侧的位置处。