发明名称 硅片分片机构
摘要 硅片分片机构,包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述输送带设有抽气气孔,该抽气气孔通过管路与抽气装置连通;所述硅片分片机构本体对应所述输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述硅片分片机构本体设有吹风方向朝向所述输送带的吹气气孔,该吹气气孔与吹风装置连通。本实用新型采用抽气装置、吹气装置和输送带共同作用将堆垛的硅片分开,具有分片效率高的优点。
申请公布号 CN205303425U 申请公布日期 2016.06.08
申请号 CN201521128872.2 申请日期 2015.12.31
申请人 苏州博阳能源设备有限公司 发明人 邱文良
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 代理人 王华
主权项 一种硅片分片机构,其特征在于:包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述输送带设有抽气气孔,该抽气气孔通过管路与抽气装置连通;所述硅片分片机构本体对应所述输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述硅片分片机构本体设有吹风方向朝向所述输送带的吹气气孔,该吹气气孔通过管路与吹风装置连通。
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