致动器支承结构及泵装置

摘要

本发明提供一种致动器支承结构及泵装置。压电泵（1）包括板簧（15）。板簧（15）包括构成致动器（3）的圆板部（24）、构成壳体（2）的外框部（23）、及弹性支承部（4）。致动器（3）从主面的中心到外周进行弯曲振动。弹性支承部（4）包括梁部（25）和连结部（26、27、28）而构成，并使圆板部（24）弹性支承在外框部（23）上。梁部（25）在圆板部（24）与外框部（23）之间的间隙中在沿着圆板部（24）的外周的方向上延伸。连结部（26）将梁部（25）与圆板部（24）连结。连结部（27、28）设置在偏离连结部（26）的位置上，并将梁部（25）与外框部（23）相连结。

主权项

一种致动器支承结构，其特征在于，包括：致动器，该致动器从主面的中心部到外周部进行弯曲振动，并呈圆板状；侧壁，该侧壁围住所述致动器的外周的外侧；以及弹性支承部，该弹性支承部使所述致动器的外周弹性支承在所述侧壁上，所述弹性支承部包括梁部、致动器连结部、及侧壁连结部而构成，其中，该梁部在所述致动器与所述侧壁之间的间隙中在沿着所述致动器的外周的方向上延伸且各自独立构成，且单个梁部为圆弧状，并具有双支承结构，该致动器连结部将所述梁部与所述致动器相连结，该侧壁连结部在沿着所述致动器的外周的方向上设置在偏离所述致动器连结部的位置上，并将所述梁部与所述侧壁相连结。