扩散硅压力传感器

摘要

本实用新型涉及一种传感器，具体涉及一种扩散硅压力传感器，包括基座，基座上设置凹槽，所述凹槽内设置填充物，所述填充物为圆柱体，填充物中部设有通孔，所述通孔四周环形排列有多个圆形阶梯孔。本实用新型在保证传感器体积不变的情况下，尽量增大填充物的体积，减小传感器的充油量，从而提高传感器的零位温漂性能。

主权项

一种扩散硅压力传感器，包括基座，基座上设置凹槽，其特征是，所述凹槽内设置填充物，所述填充物为圆柱体，填充物中部设有通孔，所述通孔四周环形排列有多个圆形阶梯孔。