Mikroelektromechanischer Sensor, Infrarot-Sensorsystem und Verfahren zum Betreiben eines mikroelektromechanischen Sensors

摘要

Die Erfindung betrifft einen mikroelektromechanischen Sensor (102) zum Erfassen einer Infrarotstrahlung (106). Der mikroelektromechanische Sensor (102) umfasst zumindest eine erste Elektrode (200), eine gegenüber der ersten Elektrode (200) bewegbar angeordnete zweite Elektrode (202) und ein flexibles Trägerelement (204) zum Tragen der zweiten Elektrode (202), wobei die zweite Elektrode (202) zwischen der ersten Elektrode (200) und dem Trägerelement (204) angeordnet ist.