| 摘要 |
本発明は、互いに対して位置決めすることができる少なくとも２つの光学要素（１０１，１０２）を有する像収差を低減するための少なくとも１つのマニピュレータ（１０）を含む半導体リソグラフィのための投影露光装置（１）に関し、光学要素（１０１，１０２）のうちの少なくとも１つは、光学要素（１０１，１０２）の互いに対する相対移動の場合に光学系内を伝播する波面の局所位相変化が生成されるように、そこを通過する光学波面に対するその効果に関して空間的に依存する。ここで、少なくとも１つの光学要素（１０１，１０２）の空間依存効果は、可逆動的方式で設定することができる。【選択図】図２ |
