| 摘要 |
波長制御ヒーター１０は、フィラメント１２を有するヒーター本体１６と、フィルタ管１８と、第１外管２２と、第２外管２４とを備えている。フィルタ管１８は、温度が所定の閾値より低いと赤外線透過率が高くなり、温度が閾値より高いと赤外線透過率が低くなる性質を有する。コントローラー６０は、赤外線の種類として近赤外線が設定されている場合には、フィルタ管１８の温度が閾値より低くなるように第１〜第３流路３１〜３３に供給する冷媒の流量を調節し、赤外線の種類として遠赤外線が設定されている場合には、フィルタ管１８の温度が閾値より高く且つフィルタ管１８が遠赤外線の放射源となるように第１〜第３流路３１〜３３に供給する冷媒の流量を調節する。 |
