发明名称 精确定位工件台的传动装置
摘要 精确定位工件台的传动装置,它有推拉件、第一传动件、竖直的固定架、磁性密封件、第一至第二电机、第一至第三轴及水平的工件台、第一齿圈、第一齿轮、承载板;啮合的第一齿圈和第一齿轮为直齿圆柱齿轮;第一至第二电机、磁性密封件在固定架外上侧、内下侧;空心的第一轴中部、磁性密封件内外套接,第一轴上端有轴肩且接第一齿圈,第一电机电机轴伸进固定架内且接第一齿轮;推拉件在轴肩和固定架内下侧间;第一轴下部与承载板一侧相接,承载板另一侧有第三轴,第三轴上接工件台;第二轴与第一轴、第一齿圈内外套接,第二电机电机轴伸进固定架内且接第二轴上端,第一传动件设在第二轴与第三轴的下部间。本装置使工件台定位精度较高。
申请公布号 CN205275696U 申请公布日期 2016.06.01
申请号 CN201521142108.0 申请日期 2015.12.31
申请人 蚌埠雷诺真空技术有限公司 发明人 郭祖华;章新良;朱向炜;葛怀庆;孙嵩泉
分类号 C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;F16H1/20(2006.01)I 主分类号 C23C14/56(2006.01)I
代理机构 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 代理人 王琪
主权项 精确定位工件台的传动装置,它包括工件台,其特征在于:它还包括固定架、第一电机、第一齿轮、第一轴、第一齿圈、承载板、推拉件、磁性密封件、第二电机、第二轴、第三轴、第一传动件;固定架、磁性密封件、第一电机、第二电机、第一轴、第二轴、第三轴均为竖直布置状态,工件台、第一齿圈、第一齿轮、承载板均为水平布置状态,第一齿圈、第一齿轮均为直齿圆柱齿轮;第一电机、第二电机设在固定架外的上侧,磁性密封件设在固定架内的下侧;第一轴为空心轴,第一轴的中部、磁性密封件内外同轴套接,第一轴的上端高于磁性密封件且位于固定架内,第一轴的上端有轴肩且通过轴肩同轴接有空心的第一齿圈,第一电机的电机轴伸进固定架内且接有第一齿轮,第一齿轮与第一齿圈相啮合;让第一轴沿其轴向位移的推拉件设在轴肩和固定架内的下侧之间;第一轴的下端超出固定架一定距离且下部与承载板的一侧相接,承载板的另一侧设有与其转动配合的第三轴,第三轴的上端高于承载板且同轴接有工件台,第三轴的下端低于承载板;第二轴分别与第一轴、第一齿圈内外同轴套接,第一轴的上下端各设有一个用来安装第二轴的平面轴承,第二轴的上端高于第一齿圈且位于固定架内,第二电机的电机轴伸进固定架内且与第二轴的上端相接,第二轴的下端超出第一轴一定距离,让工件台绕第三轴轴线转动的第一传动件设在第二轴的下部与第三轴的下部之间。
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