发明名称 用于触摸面板制造方法的透明体以及用于制造触摸屏面板的透明体的系统
摘要 描述了一种用于制造用于触摸屏面板的透明体的工艺。所述工艺包括以下步骤:在柔性透明基板上方沉积第一透明层堆叠,其中所述第一透明层堆叠包括至少第一电介质膜以及第二电介质膜,所述第一电介质膜具有第一折射率,所述第二电介质膜具有与所述第一折射率不同的第二折射率;在所述第一透明层堆叠上方提供透明导电膜;在所述透明导电膜上方沉积导电材料层;在所述导电材料层上方提供聚合物层;在所述聚合物层上压印图案,尤其是3D图案;基于所述图案来蚀刻所述导电材料层以形成用于所述触摸屏面板的导电路径;以及基于所述图案来蚀刻所述透明导电层以形成用于触摸检测的结构化的透明导电图案。
申请公布号 CN105637452A 申请公布日期 2016.06.01
申请号 CN201480056789.0 申请日期 2014.10.17
申请人 应用材料公司 发明人 H-G·洛兹;N·莫里森;T·德皮施
分类号 G06F3/041(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I 主分类号 G06F3/041(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 黄嵩泉
主权项 一种用于制造用于触摸屏面板的透明体(10)的工艺,所述工艺包括以下步骤:在柔性透明基板(14)上方沉积第一透明层堆叠(12),其中所述第一透明层堆叠(12)包括至少第一电介质膜(16)以及第二电介质膜(18),所述第一电介质膜(16)具有第一折射率,所述第二电介质膜(18)具有与所述第一折射率不同的第二折射率;在所述第一透明层堆叠(12)上方提供透明导电膜(22);在所述透明导电膜上方沉积导电材料层;在所述导电材料层上方提供聚合物层;在所述聚合物层上压印图案,尤其是3D图案;基于所述图案来蚀刻所述导电材料层以形成用于所述触摸屏面板的导电路径;以及基于所述图案来蚀刻所述透明导电膜以形成用于触摸检测的结构化的透明导电图案。
地址 美国加利福尼亚州