薄膜晶体管元件及其制造方法、有机EL显示元件及其制造方法、以及有机EL显示装置

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管元件及其制造方法、有机EL显示元件及其制造方法、以及有机EL显示装置。在TFT基板中，在基板（1011）上形成栅电极（1012a、1012b），其上被绝缘层（1013）覆盖。在绝缘层（1013）上以在Y轴方向上相互隔开间隔的状态形成有源电极（1014a、1014b）、漏电极（1014c、1014d）、连接布线（1015）。连接布线（1015）与漏电极（1012a）连接。在绝缘层（1013）上形成开有开口部（1016a～1016c）的隔壁（1016）以使得电极（1014a～1014d、1015）的各一部分露出。隔壁（1016）的面对开口部（1016b、1016c）的侧面部为斜面，侧面部（1016e、1016f）以与其他侧面部（1016d、1016g、1016h～1016k）相比缓和的倾斜形成。

主权项

一种薄膜晶体管元件，具备：栅电极；源电极及漏电极，其层叠形成在所述栅电极的上方，在与层叠方向交叉的方向上相互隔开间隔而排列设置；绝缘层，其介插在所述栅电极与所述源电极及所述漏电极之间；隔壁，其设置成围绕所述源电极及所述漏电极各自的至少一部分，并且，表面具有拨液性；以及有机半导体层，其在由所述隔壁的围绕构成的第1开口部的内部，形成在所述源电极与所述漏电极之间的间隙、以及所述源电极及所述漏电极之上，与所述源电极及所述漏电极紧密接触，对于所述隔壁的面对所述第1开口部的侧面部，其一部分为比其他部分倾斜相对缓和的斜面。