循环供液桶

摘要

本发明涉及湿法刻蚀、清洗工艺技术领域，尤其涉及一种循环供液桶，用于向湿法刻蚀、清洗设备提供化学液，并将湿法刻蚀、清洗设备的工艺处理腔中的化学液回收，所述循环供液桶包括：桶体，用于盛装化学液，所述桶体的底部设有出液口，所述出液口通过管道与供液泵相连通，所述桶体内的化学液进入所述供液泵；桶盖，所述桶盖设置在所述桶体上端，所述桶盖上设有回收液进口；桶体支架，用于支撑所述桶体。本发明实施例所提供的循环供液桶，在向湿法刻蚀、清洗设备的工艺处理腔提供化学液的同时，将工艺处理腔中的化学液通过桶盖上的回收液进口回收至桶体内，再通过桶体底部的出液口进入供液泵，实现化学液的循环利用。

主权项

一种循环供液桶，用于向湿法刻蚀、清洗设备提供化学液，并将湿法刻蚀、清洗设备的工艺处理腔中的化学液回收，其特征在于，所述循环供液桶包括：桶体，用于盛装化学液，所述桶体的底部设有出液口，所述出液口通过管道与供液泵相连通，所述桶体内的化学液进入所述供液泵，所述化学液通过所述供液泵喷洒至湿法刻蚀、清洗设备的工艺处理腔内的基片表面；桶盖，所述桶盖设置在所述桶体上端，所述桶盖上设有回收液进口，所述回收液进口通过管路与所述湿法刻蚀、清洗设备的工艺处理腔内的化学液收集口相连；桶体支架，用于支撑所述桶体。