痕量气体传感装置和用于泄漏检测的方法

摘要

本发明涉及痕量气体传感装置和用于泄漏检测的方法。痕量气体传感装置包括阴极、阳极、真空罩和膜。阳极共轴地围绕阴极，其中，阴极和阳极限定环状电离室。真空罩围绕阴极和阳极、并且包括与电离室流体连通的气体入口。膜以密封方式耦合到气体入口，并且选择性透过痕量气体。装置还可以包括用于将负电位施加到阴极、并且用于对由阴极产生的离子电流信号进行测量的电路，和用于在电离室中产生磁场的磁体组件。阴极可以包括沿着纵轴放置的细长构件、与纵轴正交的第一和第二端板。

主权项

一种痕量气体传感装置，其包括：阴极；阳极，其共轴地围绕所述阴极，其中，所述阴极和所述阳极限定环状电离室；第一电路，其构造成用于将负电位施加到所述阴极；第二电路，其构造成用于对由所述阴极产生的离子电流信号进行测量；磁体组件，其构造成用于在所述电离室中产生磁场；真空罩，其围绕所述阴极和所述阳极、并且包括与所述电离室流体连通的气体入口；和选择性透过所述痕量气体的膜，所述膜密封所述气体入口、并且构造成用于使所述痕量气体从所述膜的外侧透入到所述气体入口中。