高频电源装置以及等离子体点火方法

摘要

高频电源装置具备供给使等离子体点火的脉冲电力的等离子体点火工序；供给用于维持所产生的等离子体的驱动电力的驱动电力供给工序。在等离子体点火工序中，由促使点火的主脉冲和在主脉冲之前的阶段施加的比主脉冲低的电力的预脉冲构成通过点火脉冲输出动作施加的点火脉冲，保护高频电源不受反射波电力的影响并且进行等离子体的切实的点火。

主权项

一种高频电源装置的等离子体点火方法，从高频电源装置施加高频电力来使等离子体点火，该等离子体点火方法的特征在于，上述高频电源装置具有：通过时间上断续输出的脉冲输出使等离子体点火的等离子体点火工序；在通过该等离子体点火工序等离子体点火后，供给用于维持已点火的等离子体的驱动电力的等离子体驱动电力供给工序，上述等离子体点火工序具有输出用于使等离子体点火的点火脉冲的点火脉冲输出动作，上述各点火脉冲具有：电力小于主脉冲的在主脉冲之前的阶段输出的任意个数的预脉冲和在预脉冲后输出的初始的主脉冲，在通过上述等离子体点火工序等离子体点火后，转移到供给用于维持已点火的等离子体的驱动电力的等离子体驱动电力供给工序。