发明名称 Cu-Ga合金粉末、Cu-Ga合金溅射靶以及它们的制造方法
摘要 本发明提供能够容易地制造高品质Cu-Ga合金粉末的Cu-Ga合金粉末的制造方法和Cu-Ga合金粉末、以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法和Cu-Ga合金溅射靶。本发明将以85:15~55:45的质量比配合Cu粉末和Ga而成的混合粉末,在非活性气体环境中以30~700℃的温度加以搅拌而进行合金化,从而获得Cu-Ga合金粉末。另外,通过对该Cu-Ga合金粉末加以成型并进行烧结,获得Cu-Ga合金溅射靶。
申请公布号 CN102844134B 申请公布日期 2016.06.01
申请号 CN201180018036.7 申请日期 2011.04.07
申请人 住友金属矿山株式会社 发明人 森本敏夫;高桥辰也;安东勋雄;小向哲史;高木正德;佐藤惠理子;南浩尚
分类号 B22F1/00(2006.01)I;B22F1/02(2006.01)I;B22F3/14(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 主分类号 B22F1/00(2006.01)I
代理机构 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人 崔香丹;洪燕
主权项 一种Cu-Ga合金粉末的制造方法,其特征在于,将以85:15~55:45的质量比配合Cu粉末和Ga而成的混合粉末,在非活性气体环境中以30~700℃的温度加以搅拌,从而直接形成Cu‑Ga合金粉末。
地址 日本东京