发明名称 |
Cu-Ga合金粉末、Cu-Ga合金溅射靶以及它们的制造方法 |
摘要 |
本发明提供能够容易地制造高品质Cu-Ga合金粉末的Cu-Ga合金粉末的制造方法和Cu-Ga合金粉末、以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法和Cu-Ga合金溅射靶。本发明将以85:15~55:45的质量比配合Cu粉末和Ga而成的混合粉末,在非活性气体环境中以30~700℃的温度加以搅拌而进行合金化,从而获得Cu-Ga合金粉末。另外,通过对该Cu-Ga合金粉末加以成型并进行烧结,获得Cu-Ga合金溅射靶。 |
申请公布号 |
CN102844134B |
申请公布日期 |
2016.06.01 |
申请号 |
CN201180018036.7 |
申请日期 |
2011.04.07 |
申请人 |
住友金属矿山株式会社 |
发明人 |
森本敏夫;高桥辰也;安东勋雄;小向哲史;高木正德;佐藤惠理子;南浩尚 |
分类号 |
B22F1/00(2006.01)I;B22F1/02(2006.01)I;B22F3/14(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I |
主分类号 |
B22F1/00(2006.01)I |
代理机构 |
隆天知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
崔香丹;洪燕 |
主权项 |
一种Cu-Ga合金粉末的制造方法,其特征在于,将以85:15~55:45的质量比配合Cu粉末和Ga而成的混合粉末,在非活性气体环境中以30~700℃的温度加以搅拌,从而直接形成Cu‑Ga合金粉末。 |
地址 |
日本东京 |