发明名称 |
含氮化硅硅料的处理系统 |
摘要 |
本实用新型涉及的一种含氮化硅硅料的处理系统,其特征在于它包括从左至右依次包括第一碱洗装置(1)、第一酸洗装置(2)、第二碱洗装置(3)、第二酸洗装置(4)、第三酸洗装置(5)、水洗装置(6)、超声装置(7)以及烘干装置(8)。本实用新型含氮化硅硅料的处理系统具有可以对铸锭边皮切割小料及顶条料进行表面吸附的氮化硅及其他氧化杂质进行有效去除的优点。 |
申请公布号 |
CN205275782U |
申请公布日期 |
2016.06.01 |
申请号 |
CN201520992626.5 |
申请日期 |
2015.12.04 |
申请人 |
海润光伏科技股份有限公司 |
发明人 |
吴亚军 |
分类号 |
C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B28/06(2006.01)I |
代理机构 |
江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 |
代理人 |
唐纫兰;申萍 |
主权项 |
一种含氮化硅硅料的处理系统,其特征在于它包括从左至右依次包括第一碱洗装置(1)、第一酸洗装置(2)、第二碱洗装置(3)、第二酸洗装置(4)、第三酸洗装置(5)、水洗装置(6)、超声装置(7)以及烘干装置(8)。 |
地址 |
214406 江苏省无锡市江阴市徐霞客镇璜塘工业园区 |