| 摘要 |
본 발명은 기 설정된 압력 설정값을 포함하는 밸브제어신호를 기반으로 밸브의 개폐 각도를 가변시켜 챔버 내의 압력을 조절하고, 상기 챔버 내의 압력 측정값을 측정하는 밸브 구동 모듈 및 PID(Proportional Integral Derivative) 이득 및 상기 압력 설정값과 상기 측정된 압력 측정값 간의 오차를 기반으로 압력 보정값을 연산하고, 상기 연산된 압력 보정값을 상기 벨브제어신호로 피드백하여 상기 피드백된 밸브제어신호에 따라 상기 밸브 구동 모듈을 제어하는 밸브 구동 컨트롤러를 포함하는 진공 제어 시스템 및 그 방법을 개시한다. |
